모듈의 대형화와 대량생산을 위하여 자동라인으로 구성된 구동 시스템상에
다수의 검사기를 배치하여 양산 검사기능 수행합니다.
다수의 검사기를 배치하여 양산 검사기능 수행합니다.
Total
6
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Encap(필름) 모니터링 검사기
주요특징
· Vision system 사용하여 “Encap”을 감지
· 필름 처리 조건 dent/swelling에 대한 특수 검사 솔루션 제공(2.5D 광학)
· Encap에 대한 고정밀 측정. 필름 정렬 및 CVD 그림자 검사기
제품사양
Inspection 탐지범위 5um~ 결함 유형 표면,주름,붓기,입자,거품, Nick 등 Size ~ Half 6G Glass(1,500 X 925) Light Source LED Type Stand Alone -
MASK 이물검사 제거기
주요특징
· Vision system 을 사용하여 결함 조사 및 분류
· OLED Mask Line Scan 검수 후 Laser Head 를 이용하여 마스크 이물 제거
· OLED MASK의 다양한 수리 솔루션
제품사양
Inspection 검출력 ≥ 5.0 um 결함 유형 FMM Mask (For Customer) Light Source LED Repair Laser Plus & C/W type Laser Special Functions Blow & Suction · Adhesion Stick · Micro Tip Type Stand Alone -
Pattern AOI LTPS/LCD (TFT/Color Filter)/OLED
주요특징
· vision system 을 사용하여 조사결함 감지 및 분류
· Open/Short/Particle 등 TFT/CF/LTPS 공정을 위한 특수 알고리즘 검사 및 제공
· 고객 및 객체에 따라 최적화된 해결 방법이 가능한 장비
제품사양
Inspection 검출력 0.8 ~ 5um (TFT/ LTPS)·4um, 7.5um, 10um Size ~ 10G Glass(2,880 X 3,130) Light Source LED, Metal Halide Review Inspection Time ≤ 1.2sec./ Point Type Stand Alone & Inline -
Evaporation(Particle AOI)
주요특징
· Vision system 을 사용하여 N2 evaporation(증착) 표면에 일어나는
기화현상 결함을 감지하고 분류
· N2 증착 공정 후 글로브 박스로 이동
· 최소 입자 단위로 최적화된 설계장비
제품사양
Inspection 검출력 ≥ 1um (For Customer) Size ~ Half 6G Glass(1,500 X 925) Light Source LED, Metal Halide Review Inspection Time ≤ 1.5sec./ Point (in N2 Glove Box) Type Stand Alone -
Macro Inspection
주요특징
· 빛의 입사각 조절을 통해 작업자가 LCD공정 상 발생한
Macro 결함 및 Mura 결함 검사
· 수동 조이스틱으로 쉽게 조작 가능(유리 및 조명)
제품사양
Inspection Size ~10G (2,880 X 3,130) Optic Reflection Light Metal Halide / Full Color LED Transmission Light 3-Wavelength Fluorescent Stage Mechanism Dual Link Robot Deg. of Freedom X, θX, θZ, J1, J2 -
Inspection EQ -
Array PTN AOI주요특징
· Vision System을 사용하여 LCD/OLED 공정 상 발생한
open, short, particle 등의 결함 검출 및 자동 검사
제품사양
Inspection 검출력 1.5 ~ 5.0um Glass Size ~ 10G (2,880 x 3,130) Light Source LED, Metal Halide Review Inspection Time ≤ 0.5sec/Point Type Stand Alone & Inline